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- ...edu/cnf_spietoc.html SPIE Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication] |year=2000 |chapter=2 }}</ref> [[चित्र:Flying spot ebeam lithography.GIF|left|thumb|450px|इलेक्ट्रॉन किरण अश्मलेखन तंत्र]] ...३३ KB (९२१ शब्द) - १०:४८, १३ सितम्बर २०२४